渦輪分子泵和復合渦輪泵
發布時間：2016年07月26日 09:06 閱讀：5019
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澤德
從20世紀70年代后期開始，真空設備已不再是簡單地將真空室內部抽成真空，而是抽氣后導入各種氣體實現化學反應，從而對泵的要求越來越高。這些反應性氣體要求有更大的抽氣速率的真空泵。因此，改良型分子泵即復合式分子泵開始問世。
分子泵也可以看作非常精密的風扇，當然不是簡單地把風送出去，而是把氣體朝著一個方向排出，實現高真空，它是以尖端的技術為基礎的。在實際應用中，高速運動是通過旋轉實現的。為了實現高真空，旋轉葉片和固定葉片分30組相互疊加組合后置入泵體內，運動時如仔細傾聽，可聽到高速轉動的聲音。
這種真空泵通電后在短時間內[2(小型)～40min(大型)]即可啟動，而且從10Pa到超高真空都能使用，非常方便，分子量越大的氣體越能被排出，通常用機械旋片泵作為輔助真空泵使用。因為其屬于高速旋轉的機械真空泵，因此防震、加熱、維護等都需要注意。
在對大量氣體實現抽氣的情況下，分子泵高壓一側采用高速旋轉的螺桿形式。隨著該螺桿部的高速旋轉，氣體被向出氣處推出，抽氣口的壓力即使上升也不影響真空泵的抽氣，因而抽氣壓力范圍得以向高壓方向擴展，也可以實現對大流量氣體的抽氣。相同口徑的真空泵在10Pa(10-1Torr)時抽氣速度可以提高數倍。分子泵在對大量氣體抽氣，特別是真空中有化學反應時，因其沒有使用油而不必擔心油的變質問題(機械旋片泵等會使油變黏稠)。它還是在對食品等有機物質進行處理時很重要的真空泵。
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