影響擴散泵運用性能的主要因素
發布時間：2016年04月21日 09:23 閱讀：5071
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澤德
擴散泵油和加熱功率都是影響擴散泵性能的重要因素。
1.擴散泵油
優良的擴散泵油應具備下述性能：室溫下的飽和蒸氣壓強低，以提高泵的極限真空度；在加熱工作的溫度下具有高的飽和蒸氣壓，以得到高濃度的蒸氣；熱穩定性、化學穩定性及抗氧化性好；表面張力大，以減少爬遷；閃點和著火點高；價格低廉。
擴散泵油主要有兩類：混合物油和單質油。常用的混合物油多是石油烴類，是分餾正油產品得到的。這類油制造容易、價格低廉，但飽和蒸氣壓較高，熱穩定性、抗氧化性輻差，在工作過程中常裂解出輕的氣體成分，如H2及各種碳氫化合物，從而影響擴散泵的極限真空。
單質油有硅油及全氟聚醚等。硅油即有機硅樹脂，由人工合成，它具有低的飽和蒸氣壓、良好的抗氧化性及高溫穩定性，甚至在大氣壓下短時間加熱到250℃仍不會裂解，并可逐漸恢復性能，繼續使用。全氟聚醚(又名福布林)的分子相對質量很大，化學穩定性、抗氧化性好，耐輻射、耐UF6腐蝕，在帶電粒子轟擊下僅產生氣態移質而不形成聚合物，故可被抽走，特別適用于粒子加速器、電子顯微鏡、質譜計等真空系統。
2.加熱功率
擴散泵的運用性能與加熱功率的關系。每一項指標都有一個最佳的加熱功率值；且對于不同的氣體和工作液，這個數值是不同的。
在抽速方面，如果加熱功率小于最佳數值，則蒸氣流密度和速度不夠大，抽速小；如果加熱功率超過最佳值，蒸氣流邊層的湍流加重，同時油蒸氣分子分解形成的無規則運動嚴重化，也使抽速下降。對于質量較小的氣體，需要較大的蒸氣流密度防止反擴散，故抽速峰值移向較大功率處。
在極限壓強方面，當加熱功率過大時，油蒸氣分子熱分解，極限壓強上升，故有一個最佳加熱功率值。
臨界前置壓強與最大排氣率完全取決于定向蒸氣流的密度和速度，所以它們隨加熱功率單調上升。
顯然，對不同的氣體和工作液，擴散泵的加熱功率不同。因此，擴散泵的加熱功率在調試好后不應隨意改變。
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