油擴散泵的使用操作規(guī)程

　　油擴散泵的操作包括開泵、停泵兩個做要得動作。

　　(1)油擴散泵的開泵順序

　　①接通擴散泵的冷卻水，用機械泵預抽真空，在擴散泵人口壓力低于10-1Pa后，接通擴散泵加熱電爐的電源，對擴散泵加熱。

　　②對于K-400以下的小泵，加熱45min后泵可正常工作，K-500～K-1200的大泵，需加熱45～65min后才能正常工作。因此，在使用擴散泵真空系統(tǒng)時，應注意安排好擴散泵的啟動時間。

　　③打開擴散泵人口閥門，泵即可正常工作。

　　(2)油擴散泵的停泵順序

　　①關閉擴散泵人口高真空閥門和真空計的電源。

　　②切斷擴散泵加熱電源，機械泵繼續(xù)工作。

　　③再工作30min(小泵)到2h(大泵)以后，關閉擴散泵與機械泵之間的閥門，停止機械泵工作，并向機械泵內(nèi)放人空氣(如果機械泵入口裝有電磁放氣閥，在切斷機械泵電源后，會因電氣連鎖而自動放氣)。

　　④當泵的油鍋溫度接近50～60℃后，關閉擴散泵的冷卻水。

　　⑤為加快擴散泵冷卻，可以卸下電爐，采用噴淋水的方法冷卻。現(xiàn)代大型擴散泵都在油鍋外壁設有急冷水管(或套)，泵正常工作時不通水，切斷電源時通水急冷。

　　(3)操作注意事項

　　①擴散泵內(nèi)油溫較高時，不允許放人大氣，以防泵油氧化變質(zhì)，影響正常工作。停泵時應保持泵內(nèi)處于真空狀態(tài)。

　　②長期停泵時，水冷管(套)內(nèi)的冷卻水應放盡，并用壓縮空氣吹干。

　　③機械泵停止工作同時從泵入口放氣，以免機械泵油流入擴散泵內(nèi)。現(xiàn)代擴散泵機組都設計有電磁放氣閥，停泵時自動放氣。

　　④擴散泵正常工作后，才可以打開人口高真空閥，停泵時先關高真空閥，以減少返流泵油，避免污染被抽容器。

　　⑤應確認冷卻水暢通，泵內(nèi)真空度大于1Pa時才能對擴散泵加熱。定期檢查泵油，及時加注或更換油。

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