真空泵的工作原理和分類
發布時間：2016年01月13日 09:42 閱讀：5218
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澤德
真空泵是利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的裝置。基本上可以分為氣體傳輸泵和氣體捕集泵兩種類型。
(1)氣體傳輸泵
氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷地吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵，這種泵基本上有兩種類型：
①變容真空泵：變容真空泵是利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵。
②動量傳輸泵：是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。
(2)氣體捕集泵
是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。
①吸附泵：它是主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。
②吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。吸氣劑離子泵使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上．以達到抽氣的目的。
③低溫泵：利垌低溫表面捕集氣體的真空泵。
由于真空應用過程所涉及的工作壓力的范圍很寬．因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和滿足各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組形式應用。
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