油擴散真空泵廣泛應用于科研、生產、教學等各個領域中，特別是，如電子管、X光管以及半導體單晶硅的冶煉、提純，高沸點的油脂蒸餾、提純、分離，日光燈、保溫瓶生產等電子工業中作真空抽氣的儀器。其泵體采用直式圓筒形的玻璃外殼，與泵內的泵囪、傘形噴咀、盤形水冷擋板、冷水壁等組成一個整體，在泵體的側邊接有彎形管，泵頂端的支管為進氣口。

　　1.油擴散真空泵的工作原理

　　在機械真空泵造成預真空1×10-2mmHg的條件下，真空擴散泵內的油用電爐開始加熱而形成蒸氣流，沿中部泵囪上升，在頂端和中部的各級噴口處噴出，在蒸氣流的帶動下，把氣體分子傳送到泵的下端，油蒸氣被冷卻后又凝結為液體回流至泵底繼續工作，氣體分子集結在泵下端至一定密度時就被機械真空泵抽出，容器內的氣體分子不斷減少，就逐漸形成高真空。

　　2.油擴散真空泵的使用方法

　　油擴散真空泵必須在機械真空泵的配合下進行工作，便用前將擴散泵冼凈、烘干，然后把真空硅油或其它低蒸氣壓油從彎管管口注入，但不能直接往泵口里倒油，而是取一長管漏斗并插入泵口內使油從漏斗倒入泵內，以防有油積存在捕集器內。用油量可按不同規格大小而定，一般有回油管的泵(三級)，以油剛沒過回油管的下口為宜；沒有回油管的泵(四級)以剮沒過最高的一個缺口為宜。油量裝的過多或過少均會使泵的性能降低。把泵頂端的支管直接與玻璃系統焊接并用鐵架固定，彎管的出口嘴用真空橡皮管與機械泵連接，在擴散泵與機械泵之間最好加用一只安全瓶和一只真空活塞，便于氣流控制和防護。泵底的加熱槽用～只電爐，一般用500W/220V，并用調壓變壓器控制，調電壓時要分幾次升壓，逐漸加熱，不可一次突然升至最大功率，以防止玻璃受熱不均勻而炸裂。冷水壁與水冷擋板的各支管與冷卻水源接通，然后啟動機械真空泵，在預真空達到1×10-2mmHg時或機械泵內發出有規律的“得得得”聲時方能接通電源加熱，否則擴散泵油容易發生氧化變質影響真空度的獲得。在加熱前，一定要把冷卻水源打開才能使油蒸氣反復凝結為液體不斷循環工作。必須注意：不能用汞代替油作蒸氣源，因油分子比汞分子大15倍，它的噴口寬大不適合汞蒸氣工作條件，清洗時如使用無水乙醇、丙酮之類作脫水劑，必須先將擴散泵抽氣，把殘留在泵內有機溶液的氣體分子抽盡后才能進行焊接，否則這些有機溶液的殘存，將會引起燃燒，導致儀器爆炸損壞。使用時必須先進行檢漏避免因漏氣影響真空度的獲得，在清洗或搬動時切勿強烈振蕩以免泵芯震壞。在加熱操作時不能讓冷卻水濺在加熱槽上，否則引起炸裂。